全量程質量流量控制器

機械尺寸

氣路過程連接接口規格

5911系列 0.5-10 sccm

4.92"H x 3.94"W x 1.14"D

G3/8" Female Thread

5911系列 10-100 sccm

5911系列 100-500 sccm

5911系列 500-1000 sccm

5911系列 1000-2000 sccm

5911系列 2-5 slm

5911系列 5-20 slm

5911系列 20-30 slm

5921系列 30-100 slm

5.31"H x 4.53"W x 1.38"D

G3/8" Female Thread

5921系列 100-200 slm

5921系列 200-300 slm

5931系列 300-500 slm

6.30"H x 9.25"W x 2.91"D

G1/2" Female Thread

5931系列 500-1000 slm

5931系列 1000-2000 slm

5931系列 2000-3000 slm

5931系列 3000-6000 slm

6.30"H x 9.25"W x 2.91"Dx2

Double G1/2"Female Thread

1. 低壓損可用質量流量控制器請聯系Grylls。

2.

產品尺寸等參數值見圖紙 。

3.

氣路內螺紋與表面密封、快插接頭和卡套接頭等配件兼容。也可根據用戶要求提供VCR等接頭相兼容。